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1  机器功能

  1.1该系列设备为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、量子点LED、OPV等产业研发专用设备，设备可工艺制备纳米级氧化物、氮化物、金属等薄膜材料。

  1.2 本设备实现大尺寸钙钛矿器件的蒸镀和实现钙钛矿器件的批量蒸镀，大大提高产量和经济效益。

  1.3 溅射腔体采用SUS 304不锈钢材料，腔体内表面包括屏蔽板全部镜面抛光，可以获得洁净的工作环境和良好的真空度。